公司高纯度EPI气体流量计再次中标维信诺合肥项目

2020年12月，我公司大宗气体在线流量计，再次中标维信诺合肥6代AMOLED项目。主要针对15A,20A,25A,32A,40A,50A,100A,150A,200A,250A,300A,600A,700AEP管道H2,O2,Ar,He,N2,LPCDA,MPCDA,HPCDA,IA等气体流量监测。该批流量计分为插入式和管段式，其中管段式采用特有的VCR机械接口，并且每台流量计标定2个量程，以方便将来扩大生产时使用。