高纯度气体流量测量，为何选用美国EPI气体质量流量计？

高纯度气体流量测量，为何选用美国EPI气体质量流量计？

1.直接测量气体质量流量，无需温度、压力补偿，量程比大，一般300:1。

2.流量计所带管段采用EP管或BA管，材料为SS316L,满足半导体行业的要求。一般与现场管路连接方式为：对焊，加长自动焊，卡箍，卡套。

AP管- Annealed and Pickled Pipe酸洗管；(Ra≤2.5μm)

MP管- Mechanically Polished Pipe机械抛光管(Ra≤0.4μm)

BA管- Bright Annealed Pipe光亮退火管(Ra≤0.3μm

EP管- ElectroPolished Pipe电抛光管(Ra≤0.2μm)

3.采用专利的VCR探头结构，密封性能好,适合纯度、洁净度要求高的气体。

4.流量计采用原气标定（H2，He,Ar,CO2,N2), 保证流量测量的准确度。

5.采用VCR探头结构，可容易取出，进行年度和周期流量计检验校准；校准标定后，可方便装回原处，不必破坏原来管路。

以上就是为什么INTEL、三星半导体、美国TI、华星光电等国内外芯片厂商选择EPI流量计的原因。