高纯气体PO2的在线质量流量的测量

在半导体工厂，对于高纯氧气PO2的流量监测，因为现场管道为1英寸EP管，故此采用带EP管段式的热质流量计（可参考图示）。
它的表头和管段之间采用VCR接口方式，以方便日后每年1次的年度校准，拧下VCR的公头即可。该流量计管段和现场管道采用焊接方式；表头可显示瞬时质量流量和累积质量流量；同时可通过4-20mA/MODBUS等输出方式将数据传递给上位主机。该流量计具有1级精度、原气标定、重复性好、免维护和寿命长等特点，已经成为半导体工厂对于PO2、GN2、HPCDA、MPCDA、PHe、PAr、GH2等气体流量监测的优先选择。