MFC800系列气体质量流量控制器

产品概述

MFC800系列气体质量流量控制器，为工业和科学研究领域长期可靠工作而设计。利用热扩散原理及PID控制原理，测量和控制小管道的气体质量流量输出，不需要温度和压力补偿。以性能可靠、安装方便和价格合理得以大量应用。

产品特点

☆用于多种气体质量流量控制，如CO,Ar,CF4,O2,N2,H2,C2H4,C2F6,NF3,SIF4等

☆测量范围：从0-5sccm 至 0-1500slm

☆精度：1.0%F.S.

☆量程比：最小100:1

☆重复性：0.25%

☆响应时间：1.0S

☆过程温度：0-50℃

☆过程压力：0-8MPa

☆供电：24VDC

☆输出：0-5V,4-20mA,RS232

☆管道材质：316L

☆连接标准：1/4英寸，3/8英寸，1/2英寸，3/4英寸

产品应用

l  实验室，泄漏检测

l  医学，气体合成

l  科学研究，过程控制

l  制药，半导体工业